DW 288 S6 - 莱玛特（南京）精密科技有限公司

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DW 288 S6

产品分类: 特种设备

产品描述:

工件尺寸大直径 6 英寸 ×650 毫米

针对大批量 6 英寸晶圆生产优化设计

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设备特点

·较小轴间距：针对 6 英寸（直径）优化设计
·大容量：650 毫米网带长度
·高产出：线速度 30 米 / 秒，加速度 10 米 / 秒 ²
·新一代工件摆动技术
·自适应进给
·新型冷却过滤（CF）系统：低维护换热器，全系统温度稳定，较短管道路径
·操作便捷：15 英寸触摸屏人机界面（HMI），配置生产助手，易培训、易使用
·60 步工艺配方生成器
·适配工业 4.0
·多种可选配置：如金刚石线管理系统（DWMS）

设备特点

·较小轴间距：针对 6 英寸（直径）优化设计
·大容量：650 毫米网带长度
·高产出：线速度 30 米 / 秒，加速度 10 米 / 秒 ²
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·自适应进给
·新型冷却过滤（CF）系统：低维护换热器，全系统温度稳定，较短管道路径
·操作便捷：15 英寸触摸屏人机界面（HMI），配置生产助手，易培训、易使用
·60 步工艺配方生成器
·适配工业 4.0
·多种可选配置：如金刚石线管理系统（DWMS）

DW 288 S6

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DW 288 S6

工件尺寸较大直径 6 英寸 ×650 毫米针对大批量 6 英寸晶圆生产优化设计

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