工件尺寸最大直径 6 英寸 ×650 毫米
针对大批量 6 英寸晶圆生产优化设计
为了实现在一个工序中完成双面去毛刺加工,LAPMASTER WOLTERS开发了一种新的设备,为Microline® AC 700提供了一个专利解决方案。转换成为可以进行去毛刺加工的双面精密磨床非常容易,只需将精密砂轮换成刷轮,并且停用中心测量控制。这意味着精密磨床基本上适用于去毛刺,同时也可以用作一台组合机器。专利解决方案,新开发的设备可在同一步骤中完成双面去毛刺。
可根据客户工件要求提供多种材料及结构方式的毛刷
Lapmaster Wolters德国分公司生产的直线型表面加工设备为去毛刺技术及倒角提供多样化解决方案。加工的重点是改善工件表面的质量。BD系列设备设计理念非常灵活,可广泛应用于各领域,如加工高精度工件、精密线割件、激光切割件、车削件、铣件及有很多冲压毛刺的工件。根据客户加工要求,设备每个工位配有5个毛刷。毛刷可分为简单冲压或铸造毛刷以及特殊结构的刚毛毛刷。具体参数如刚毛厚度、形状及材质均可精准
LAPMASTER WOLTERS 对磨粒流加工(AFM)及自由珩磨(FFH)的进一步开发进行了投资。FFH加工是使用均匀分散在油灰似物质中的磨料。这种研磨料介质具有随孔型变化的独特的能力。该加工能够实现精密抛光、去毛刺及形成棱角半径,特别为需要达到一致的抛光表面的工件而设计,不论工件为何种形状。工件的内径的形状越特殊,AFM加工越容易。
工件尺寸最大直径 6 英寸 ×650 毫米针对大批量 6 英寸晶圆生产优化设计
“Macro”系列采用创新的(MWH)设计理念。所有定位及精磨时的线性动作均由精磨头实现。与传统的立柱移动和工作台移动不同,本机各轴采用紧凑结构,可实现最佳受力分布及最小的受热变化,这些特性使得设备实现长期、最佳的加工控制。
Lapmaster旋转式贯穿进给研磨机是高平面度和表面光洁度加工要求的首选。 工件由两个翻转取放机构运输至圆盘传送带上完成上下料,取放机构安装在两个安装盘上,安装盘可在垂直方向上调整以补偿盘磨损。 进给取放机构可自动识别传送带上的工件,并将其传送至进给滑板上,工作台下安有线性电动装置,可将工件推入圆盘传送带上,圆盘传送带上安有传感器,可调控进给时序。
Lapmaster Wolters集团生产的SS-48H研 磨机配备直径48英寸(1219mm)研磨盘。 HT300灰铸铁材质,符合IS0185(2005) 认 证。可根据客户要求提供其他类型的研 磨盘。研磨盘为多个贴片用螺钉固定到 支撑盘上。研磨液通过分配管路供给每个修整环。 供给泵可将多出需要量的研磨液输送至 供给管路。多余的研磨液将通过倾斜的回流管线流 回至研磨液桶内。此回流功能和搅拌器 的
Lapmaster IFL100台式研磨机小巧实用,非常适合小型车间和实验室使用。该设备出厂时配置齐全,安装后即可使用。可研磨大到直径100mm,深度100m孔径的工件。在某些情况下,也可加工较大直径工件,但要看具体尺寸。转臂结构紧凑,可调节。转臂中安装有凸轮装置,可实现转臂从一侧向另一侧摆动,确保加工均匀到位。可在Lapmaster单面设备上修整盘的平面度。