双面批量加工设备
大工件可达直径260mm,50mm厚
为工件的高精密加工而设计,适用于研磨和抛光。
Lapmaster Wolters集团生产的SS-48H研 磨机配备直径48英寸(1219mm)研磨盘。 HT300灰铸铁材质,符合IS0185(2005) 认 证。可根据客户要求提供其他类型的研 磨盘。研磨盘为多个贴片用螺钉固定到 支撑盘上。研磨液通过分配管路供给每个修整环。 供给泵可将多出需要量的研磨液输送至 供给管路。多余的研磨液将通过倾斜的回流管线流 回至研磨液桶内。此回流功能和搅拌器 的
“Macro”系列采用创新的(MWH)设计理念。所有定位及精磨时的线性动作均由精磨头实现。与传统的立柱移动和工作台移动不同,本机各轴采用紧凑结构,可实现较好受力分布及较小的受热变化,这些特性使得设备实现长期、较好的加工控制。
工件尺寸较大直径 6 英寸 ×650 毫米针对大批量 6 英寸晶圆生产优化设计
DDG580为LAPMASTER WOLTERS的一款高精密高性能通过式磨床,可满足各类工件上下表面同时磨削的需求,即使在极其恶劣的工作条件下始终能够保持从第一个工件到一个工件的连续精密度。对于不同的工件的加工,设备可采用多种不同的加工工艺。
光学平面莱玛特光学平面选用热膨胀系数低且耐磨性好的石英玻璃,采用新技术加工而成。光学平面分为单面使用和双面使用两种,其直径范围为ф25mm-ф300mm,光学精度分为1/2光带,1/4光带和1/10光带。单色光检测仪莱玛特单色光检测仪与光学平面配合使用可以用于检测大多数反射和半反射工件的平面度,检测仪使用钠光和氦光两种光源。型号有:钠光光源ML-18 ML-35 氦光光源 CP-1 CP-2
可根据客户工件要求提供多种材料及结构方式的毛刷
多主轴回转头架较多可在同一转塔上配置4个不同类型主轴,适应高同轴度,高圆柱度要求,转塔驱动适应鼠牙齿结构或力矩电机结构,适应不同锥度分秒
Lapmaster Wolters 的Macro-SK精密磨削中心,专为加工定子的内腔而设计。确立了定子内腔加工效率和精度的新标准。Macro-SK可加工不同种类的定子,如Gerotor/Geroller,设备可配备两个磨臂。在磨削过程中,两个主轴垂直下降进入固定在夹具上的一串定子堆垛中。经实践验证,与其他设备加工原理相比,垂直磨削在此类加工中具有很大优势,冷却润滑油直接注入磨削区域,因此磨削进给
LAPMASTER WOLTERS AC 1500 双端面加工设备为工件的批量精加工而设计。AC 1500通过采用模块化设计,可用于精密磨削、研磨、以及抛光加工。