工件尺寸:最大直径 8 英寸 ×420 毫米
·优化砂浆切割液管理
·在碳化硅(SiC)及 8 英寸半导体行业堪称同类最佳
·适用于不同规格的多样化应用
“Macro”系列采用创新的(MWH)设计理念。所有定位及精磨时的线性动作均由精磨头实现。与传统的立柱移动和工作台移动不同,本机各轴采用紧凑结构,可实现最佳受力分布及最小的受热变化,这些特性使得设备实现长期、最佳的加工控制。
LAPMASTER WOLTERS 对磨粒流加工(AFM)及自由珩磨(FFH)的进一步开发进行了投资。FFH加工是使用均匀分散在油灰似物质中的磨料。这种研磨料介质具有随孔型变化的独特的能力。该加工能够实现精密抛光、去毛刺及形成棱角半径,特别为需要达到一致的抛光表面的工件而设计,不论工件为何种形状。工件的内径的形状越特殊,AFM加工越容易。
Lapmaster 20”研磨/抛光机配备有金刚石研磨液及润滑油分配系统,2个单独的磨料供应管路,研磨液及润滑油玻璃存储罐中装有磁性搅拌器。金刚石磨料供给系统用于控制金刚石乳液和润滑油分配,按设备加工计时器预设频率自动进给。该系统包括微处理器控制电路,确保持续稳定的性能。通过气压(设为5 bar)将研磨液及润滑油供给到分配管路,采取呼吸式模式,玻璃罐压力不会过高。研磨液及润滑油的供给时间及频率可分
Lapmaster DSG系列双面精磨机运行系统依据3-way行星原理设计,性价比高,加工精确稳定。加工材料及工件范围广泛,包括玻璃、陶瓷、水晶和金属等。Lapmaster DSG系列双面精磨机广泛应用于工件的平面加工,可为工件严苛的精度和公差要求提供绝佳的解决方案。平面度: < 1μm *工件一致性公差: < 4μm *平行度: < 3μm *表面光洁度: < 0.25 μm *切削率: 0
工件尺寸最大直径 6 英寸 ×650 毫米针对大批量 6 英寸晶圆生产优化设计
LAPMASTER WOLTERS AC 700 双端面加工设备为工件的批量精加工而设计。AC 700通过采用模块化设计,可用于精密磨削、研磨、以及抛光加工。
Lapmaster Wolters集团生产的SS-48H研 磨机配备直径48英寸(1219mm)研磨盘。 HT300灰铸铁材质,符合IS0185(2005) 认 证。可根据客户要求提供其他类型的研 磨盘。研磨盘为多个贴片用螺钉固定到 支撑盘上。研磨液通过分配管路供给每个修整环。 供给泵可将多出需要量的研磨液输送至 供给管路。多余的研磨液将通过倾斜的回流管线流 回至研磨液桶内。此回流功能和搅拌器 的
24寸气动加载式研磨机是基于24寸普通型研磨机制造而成。压力码通过调心轴承与气缸连杆相连。气缸安装在研磨盘上方由两根立柱支撑的横梁上。气动的主要作用是上下料时不必手动搬运压力法码。也可根据客户要求,对工件施加额外的压力。该设备标准配置用于使用松散研磨剂。根据客户要求,也可增选配置用于水和金刚石乳液。