工件尺寸:最大直径 8 英寸 ×420 毫米
·优化砂浆切割液管理
·在碳化硅(SiC)及 8 英寸半导体行业堪称同类最佳
·适用于不同规格的多样化应用
“Macro”系列采用创新的(MWH)设计理念。所有定位及精磨时的线性动作均由精磨头实现。与传统的立柱移动和工作台移动不同,本机各轴采用紧凑结构,可实现最佳受力分布及最小的受热变化,这些特性使得设备实现长期、最佳的加工控制。
Lapmaster Wolters集团生产的SS-48H研 磨机配备直径48英寸(1219mm)研磨盘。 HT300灰铸铁材质,符合IS0185(2005) 认 证。可根据客户要求提供其他类型的研 磨盘。研磨盘为多个贴片用螺钉固定到 支撑盘上。研磨液通过分配管路供给每个修整环。 供给泵可将多出需要量的研磨液输送至 供给管路。多余的研磨液将通过倾斜的回流管线流 回至研磨液桶内。此回流功能和搅拌器 的
双面批量加工设备最大工件可达直径260mm,50mm厚为工件的高精密加工而设计,适用于研磨和抛光。
M9机床为标准五轴磨削机床,最高可配到6轴;适应磨削,铣削,钻削,测量,配备自动换刀机构。床动态精度根据ISO230-2 定位精度≤ 4微米 ,重复定位精度≤ 2微米。
可磨削工件长度从1米起,最长可达6米、机型多样性:SLM 2002\SLM4002\SLM6002、可配置2磨头结构或者3磨头结构、可以磨削:导轨两侧轮廓和导轨底面
双端面抛光机可加工工件尺寸至290 MM 直径、50MM 厚度。
LAPMASTER WOLTERS AC 700 双端面加工设备为工件的批量精加工而设计。AC 700通过采用模块化设计,可用于精密磨削、研磨、以及抛光加工。