工件尺寸最大直径 6 英寸 ×650 毫米针对大批量 6 英寸晶圆生产优化设计
工件尺寸：最大直径 8 英寸 ×420 毫米·优化砂浆切割液管理·在碳化硅（SiC）及 8 英寸半导体行业堪称同类最佳·适用于不同规格的多样化应用
